ACMR
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섹터(Sector): Technology – 테크
산업(Industry): Semiconductor Equipment & Materials – 반도체 장비 및 소재, 반도체
영위사업
ACM Research는 “반도체 웨이퍼를 깨끗하게 씻어 주는 전문 장비”를 설계·제조·판매하는 회사입니다. 클린룸에서 연마·식각을 마친 웨이퍼에는 미세 입자, 화학 잔여물이 남아 있는데, 이를 제거해야 다음 공정에서 높은 수율(성공률)을 확보할 수 있습니다. ACMR의 핵심 사업은 다음과 같습니다:
Wet Cleaning 장비
- Single-Wafer Cleaning: 300mm 웨이퍼를 한 장씩 처리해, 표면 손상 없이 미세 이물·막을 제거
- Batch Cleaning: 다수의 웨이퍼를 한 번에 처리, 대량 생산 라인용
ATW(Atomic-Level Thin Film) 공정 장비
- 세정과 동시에 극박막 코팅 또는 도핑 전처리 기능 통합
- 선폭 미세화 공정에 필요한 표면 에너지·이온 컨트롤
메가소닉·열분해 세정 솔루션
- 초음파(메가소닉) 진동으로 박막·오염층을 물리적으로 분리
- 화학 반응 온도를 높여 유기물·금속 잔류물 제거 효율 강화
서비스 및 소모품
- 장비 설치·교정·정기 유지보수 계약(서비스 매출 비중 약 20%)
- 세정용 화학약품·필터 등 소모품 판매(반복 매출)
고객 맞춤 개발
- 파운드리·IDM(Integrated Device Manufacturer)·첨단 팹(Fab) 요구에 최적화된 공정 설계
- 현장 파라미터 튜닝, 레시피 수정, 공정 교육
글로벌 지원 네트워크
- 중국·대만·한국·미국에 R&D·서비스 거점
- 24×7 기술 지원으로 다운타임 극소화
시장 포지션
- 중국 Top-3 세정장비 업체, 글로벌 파운드리·IDM 고객사 확보(예: TSMC, Samsung, UMC)
최근 1년 주가 동향
- 2024년 전방산업(파운드리 CAPEX) 회복 기대에 주가 +30%
- 2025년 상반기 일부 매크로 리스크(금리·수요 우려)로 등락
비즈니스 모델 (수익 모델)
장비 판매(베이직 수익): 웨이퍼 세정·ATW 장비 1대당 $0.5M~$2M (공정 복잡도·장비 사양별)
서비스 계약(반복 수익): 설치 후 5
10년 O&M(운영·유지보수) 계약, 매년 장비 가치의 510%소모품·화학약품: 세정액·필터·UV램프 등 교체형 소모품 매출 비중 약 10~15%
맞춤 개발 수수료: 고객 공정 최적화·레시피 개발, NRE(Non-Recurring Engineering) 수익
고객 유형별:
• 파운드리·IDM: 70%
• 팹리스·연구소: 15%
• 중소 팹: 15%**지역별 매출:
• 중국·아시아: 60%
• 북미: 25%
• 유럽·기타: 15%
핵심 경쟁력
- 공정 전문성: 10nm 이하 극미세 공정 대응 세정 레시피·메가소닉·열분해 기술
- 장비 모듈화 설계: 스택형 세정 모듈·ATW 모듈 교체로 라인 업그레이드 용이
- 빠른 개발 속도: 고객 공정 변경 시 평균 4~6주 내 레시피 튜닝 완료
- 로컬 서비스 거점: 중국·대만·한국·미국 현지 엔지니어 상주, 긴급 대응
- 소규모 설비→낮은 CAPEX 진입장벽: 팹리스·중소 파운드리도 도입 가능
핵심 기술
- 메가소닉 클린: 1MHz~2MHz 초음파로 미세 입자·유기물 제거
- 고온 열화학 클린: 90°C 이상 온수·화학약품 반응으로 금속 잔류물·막 제거
- ATW 코팅·세정 통합: Atomic-Level 박막 증착과 세정의 공정 통합, 단일 장비 솔루션
- 액티브 카이네틱 제어: 온도·압력·유량 실시간 센싱·제어, 공정 편차 최소화
- 디지털 레시피 관리: 클라우드 기반 공정 데이터 수집·AI 최적화
제조 공정
1단계: 부품 조달 및 검사
- 펌프·밸브·센서·초음파 트랜스듀서·세라믹 부품 검수
2단계: 모듈 및 시스템 조립
- 스테인리스·세라믹 모듈 낸드→프레임·배관 결합→배선·제어부 통합
3단계: 소프트웨어 탑재
- 공정 제어 프로그램·데이터 로거 설치, 디지털 레시피 로딩
4단계: 공장 테스트 및 교정
- 누수·안전·성능 시험(유량·온도·압력·진동), 공정 반복 테스트
5단계: 출하·현장 설치
- 포장·운송→고객 팹에 설치 후 시운전·레시피 튜닝→O&M 계약 개시
전방산업 / 후방산업
전방산업 (ACMR 장비 사용 산업)
- TSMC(TW, TSM), Samsung Electronics(KR, 005930.KS), UMC(TW, UMC) – 7nm~3nm 팹 공정
- Intel(US, INTC), GlobalFoundries(US, GFS) – 고급 로직·메모리 공정
- 연구기관·국책연구소: IMEC(BE), CEA(FR), SEMATECH(US) – 공정개발·장비평가
후방산업 (부품·재료 공급)
- ChemCut Solutions(US, 비상장) – 세정 화학약품
- Pall Corp.(US, PLL) / Sartorius(DE, SRT.DE) – 필터·멤브레인
- Ingur Instruments(TW, 비상장) – 메가소닉 트랜스듀서
- Parker Hannifin(US, PH) – 유량·압력 제어 밸브
밸류체인
부품·화학→ACMR 공정 모듈 설계→장비 조립→소프트웨어 통합→공장 교정→고객 설치·시운전→O&M·소모품 공급 반복 매출
주요 제품
- AquaWave Single-Wafer Cleaner: 300mm 단일 웨이퍼 습식 클린 장비 (매출비중 35%)
- AquaBatch Batch-Wafer Cleaner: 다수 웨이퍼 동시 처리 배치장비 (매출비중 20%)
- ATW Coater & Cleaner: Atomic-Level 박막 증착·세정 통합 (매출비중 15%)
- Service & Consumables: 장비 유지보수·화학약품·필터 (매출비중 20%)
- Custom Process Modules: 팹별 맞춤 레시피·모듈 (매출비중 10%)
주된 영향을 미치는 원자재
- 세정 화학약품: 불산·과산화수소·암모니아 등, 공급사 BASF(DE, BAS.DE), Merck(DE, MRK.DE)
- 필터·멤브레인: Pall Corp.(US, PLL), Sartorius(DE, SRT.DE)
- 메가소닉 트랜스듀서: Ingur Instruments(TW, 비상장), US 주파수 제어 업체
- 스테인리스·세라믹 부품: 아크용접재·씰링재, 공급사 Carpenter Technology(US, CRS), Kyocera(JP, 6971.T)
주요 고객
- TSMC(TW, TSM) – 선도 3nm~2nm 팹
- Samsung Electronics(KR, 005930.KS) – V1~V2 업그레이드 팹 클린 프로세스
- UMC(TW, UMC) – 12nm~22nm 로직·RF
- Intel(US, INTC) – Fabs 환경 테스트·개발
- 국책연구소(예: IMEC(BE), CEA(FR)) – 공정 R&D
주요 판매 국가
- 대만·중국·한국: 60%
- 북미: 25%
- 유럽·기타: 15%
경쟁업체
- Tokyo Electron(JP, 8035.T) – 종합 반도체 웨ット 공정 장비
- Lam Research(US, LRCX) – 건식 식각 장비 중심, 웨트 일부 솔루션
- Applied Materials(US, AMAT) – CMP·세정 라인 패키지
- SCREEN Semiconductor(JP, 7735.T) – 웨이퍼 클린·건식 공정
- Martin Marietta(US, MLM) – CMP 화학약품(간접 경쟁)
산업 내 글로벌 시장 점유율
- Wet Cleaning 장비 시장: ACMR 12% (5위권), Tokyo Electron 30%, SCREEN 18%, Applied 15%, Lam 일부
- Batch Cleaning 시장: ACMR 8% (니치 플레이어), 경쟁사 분산
- 3년간 추이: 기술적 수율 요구 상승으로 시장 점유율 소폭 증가
기업 특징 및 성장성
- 매출 성장률: 3년 CAGR 20% (2020–2023)
- 영업 이익률: 8% (2023년, 서비스·소모품 확대로 개선 추세)
- 성장 동력: 첨단 공정(3nm 이하) 수율 압박, 파운드리·IDM CAPEX 회복, ATW 사업 확대
- 위험 요소: 글로벌 반도체 사이클 변동, 중국 고객 의존도(탈중국 정책 리스크), 화학약품 규제
최근 3년 내 주요 이슈
- 2024년: ATW 솔루션 양산 개시, 파운드리 평가 라인 설치 확대
- 2023년: 메가소닉 클린 신제품 “AquaWave X” 출시, 글로벌 4대 파운드리 평가 수주
- 2022년: 미국·중국 서비스 센터 확장, 한국·대만 파운드리 협력 강화
주요 주주 (지분율)
- Vanguard Group: 8.2% (5.4M주)
- BlackRock, Inc.: 7.5% (4.9M주)
- Dimensional Fund Advisors: 3.8% (2.5M주)
- 기관 투자자 총합: 65%
- 개인 투자자: 35%
관련 ETF
직접 관련 ETF:
- SOXX – iShares PHLX Semiconductor Sector ETF SOXX
- XSD – SPDR S&P Semiconductor ETF XSD
섹터 관련 ETF:
- IGV – iShares Expanded Tech-Software ETF IGV
- XLK – Technology Select Sector SPDR Fund XLK
- XBI – SPDR S&P Biotech ETF XBI (웻케미칼 솔루션 일부 포함)